光谱共焦传感器两种测量模式介绍
更新时间:2018-06-25 点击次数:1238次
光谱共焦传感器两种测量模式介绍
光谱共焦传感器外部扫描有一个重要的特性,实际上它是一个点传感器,换句话说,在给定时刻传感器测量的是一个位于其光轴上的单点。为了得到一个曲线,或者测量整个表面,必须用一些外部扫描设备做辅助,沿着一个轴或者两个轴扫面样品。一般情况扫描设备是机动的;在一些情况下它还包含编码器来确定任意时刻样品的位置。在一些应用中传感器和外部扫描设备的同步性是一个重要的问题。CCS-100可能同时作为“从”和“主”。
光谱共焦传感器同步传感器通常需要同步传感器与一个外加设备,比如一个编码器,运动控制器或者一个能表明在传送带上运动物体路径的光电管。当与传感器同步的外部设备是一个数字编码时,这个任务就很简单,因为它是由CCS-100自动进行同步的。
厚度模式是一个附加的测量模式,专门用来测量透明样品的厚度。这种模式下传感器同时测量透明样品两面的位置,然后通过两个位置的不同计算出厚度。测量厚度比测量位移更难,度也下降。厚底测量也受一些限制。为了获得在该模式下的计量性能,应该执行一个特殊的叫做“厚度校准”的程序。厚度校准是用户来执行的。这个过程需要一个厚度标准。
测量数据
在样品的每一个点传感器都要同时测量几个数据。 在位移测量模式下测量数据有:
√被测样品点的距离
√反回的散射光束的光强
在厚度模式下测量数据有:
√样品个面的距离和光强
√样品第二面的距离和光强
√厚度
光谱共焦传感器位移模式是专门用来测试样品表面点的高度的。位移数据使用30比特的数字分辨率传输的。当测量一个不透明样品(金属,纸,陶瓷……)剖面高度时,使用位移模式就很直观简单。
当测量薄的透明样品或者有涂层样品时,就会发生传感器同时得到两个信号的情况:涂层表面反射一个信号,底层反射第二个信号。传感器默认选择强的信号并且忽略其它收到的信号,不管其谱峰的相对位置。在一些应用中这种处理不是佳:在上面的例子中,底层材料的反射率一般比涂层的反射率强,而我们可能需要测量的是涂层表面。主题会给出峰模式的在这种应用中的解决方法。