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MTI 数字式电容探头

简要描述：

MTI 数字式电容探头的特点
● 电缆和探头使用的的温度范围: -130ºC -- 200ºC （也有高温探头，在下一页有介绍）
● 连接头的使用温度范围: -65ºC -- 85ºC
● 精度: 高于满量程的±0.02% （当探头和放大器经过和被测物校准后）
● 标准放大器滤波带宽: 500Hz

产品概述

MTI 数字式电容探头

MTI 数字式电容探头

（标准规格的电容探头以达到纳米级别的分辨率并且有非常好的稳定性）

电容位移传感器的应用

显微镜聚焦 „镜头的对准 „测量零件的外形 „测量零件的倾斜 „测量半导体硅片的厚度 „测量压电平台的位移 „测量振动 „测量电脑硬盘运行和厚度 „测量刹车盘的翘曲和厚度 „测量金属板的厚度 „测量光伏晶圆

的特点

● 电缆和探头使用的的温度范围: -130ºC -- 200ºC (也有高温探头，在下一页有介绍)

● 连接头的使用温度范围: -65ºC -- 85ºC

● 精度: 高于满量程的±0.02% （当探头和放大器经过和被测物校准后）

● 标准放大器滤波带宽: 500Hz

● 可选滤波带宽 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel

● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 滤波带宽 Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程

● 探头和电缆互换性: ± 0.5%（在没有经过校准的情况下互换）

● 承受压力范围: 14MPa- (不适用于高温探头)

● 材料: 不锈钢结构,内部没有电子元器件

● 带线缆的探头，同轴电缆长度: 2.4m (可选延长线缆.)

型号 ASP-1-ILR	量程	2zui大扩展量程	感度	感测直径E	探头直径D	探头长度L	zui小范围
型号 ASP-1-ILR	µm 25.4	10	µm/V 2.54	mm 1.09	mm 2.36	mm 9.53	µm 1.270
ASP-2-ILR	50.8	10	5.08	1.55	2.84	9.53	2.540
ASP-5-ILR	127.0	10	12.70	2.49	3.96	9.53	6.350
ASP-10-ILR	254.0	10	25.40	3.53	5.54	9.53	12.700
ASP-20-ILR	508.0	4	50.80	5.00	7.92	9.53	25.400
ASP-50-ILR	1270.0	3	127.00	7.98	13.87	9.53	63.500
ASP-100-ILR	2540.0	2	254.00	11.25	25.40	9.53	127.000
ASP-200-ILR	5080.0	2	508.00	15.93	38.10	9.53	254.000

型号 ASP-25M-CTR	量程	2zui大扩展范围	感度	感测直径E	探头直径D	探头长度L	zui小范围
型号 ASP-25M-CTR	µm 25.4	10	µm/V 2.54	mm 1.09	mm 9.53	mm 25.40	µm 1.270
ASP-50M-CTR	50.8	10	5.08	1.55	9.53	25.40	2.540
ASP-125M-CTR	127.0	10	12.70	2.49	9.53	25.40	6.350
ASP-250M-CTR	254.0	10	25.40	3.53	9.53	25.40	12.700
ASP-500M-CTR	508.0	4	50.80	5.00	11.13	25.40	25.400
ASP-1250M-CTR	1270.0	3	127.00	7.98	15.88	25.40	63.500
ASP-2500M-CTR	2540.0	2	254.00	11.25	25.40	25.40	127.000

产品型号 ASP-1-ILA	量程	2zui大扩展范围	感度	感测直径E	探头直径D	探头长度L	zui小范围
产品型号 ASP-1-ILA	µm 25.4	10	µm/V 2.54	mm 1.09	mm 2.36	mm 9.53	µm 1.270
ASP-2-ILA	50.8	10	5.08	1.55	2.84	9.53	2.540
ASP-5-ILA	127.0	10	12.70	2.49	3.96	9.53	6.350
ASP-10-ILA	254.0	10	25.40	3.53	5.54	9.53	12.700
ASP-20-ILA	508.0	4	50.80	5.00	7.92	9.53	25.400
ASP-50-ILA	1270.0	3	127.00	7.98	13.87	9.53	63.500
ASP-100-ILA	2540.0	2	254.00	11.25	25.40	9.53	127.000
ASP-200-ILA	5080.0	2	508.00	15.93	38.10	9.53	254.000

型号 ASP-0.5-CTA	量程	2zui大扩展范围	感度	感测直径E	探头直径D	探头长度L	zui小范围
型号 ASP-0.5-CTA	µm 12.7	20	µm/V 1.27	mm 0.74	mm 6.35	mm 63.50	µm 0.635
ASP-25M-CTA	25.4	10	2.54	1.09	6.35	63.50	1.270
ASP-50M-CTA	50.8	10	5.08	1.55	6.35	63.50	2.540
ASP-125M-CTA	127.0	10	12.70	2.49	6.35	63.50	6.350
ASP-250M-CTA	254.0	10	25.40	3.53	6.35	63.50	12.700
ASP-500M-CTA	508.0	5	50.80	5.00	11.10	63.50	25.400
ASP-1250M-CTA	1270.0	3	127.00	7.98	15.88	63.50	63.500
ASP-2500M-CTA	2540.0	2	254.00	11.25	25.40	63.50	127.000
ASP-5000M-CTA	5080.0	2	508.00	15.93	38.10	101.60	254.000
ASP-500-CTA	12700.0	1	1270.00	25.22	82.55	101.60	635.000

型号 ASP-1-PCA	量程	2zui大扩展范围	感度	感测直径E	探头直径D	探头长度L	zui小范围
型号 ASP-1-PCA	µm 25.4	10	µm/V 2.54	mm 1.09	mm 2.36	mm 2.54	µm 1.270
ASP-2-PCA	50.8	10	5.08	1.55	2.84	2.54	2.540
ASP-5-PCA	127.0	10	12.70	2.49	3.96	2.54	6.350
ASP-10-PCA	254.0	10	25.40	3.53	5.54	2.54	12.700
ASP-20-PCA	508.0	4	50.80	4.98	7.92	2.54	25.400
ASP-50-PCA	1270.0	3	127.00	7.98	13.87	2.54	63.500
ASP-100-PCA	2540.0	2	254.00	11.25	25.40	2.54	127.000

型号 ASP-1-PCR	量程	2zui大扩展范围	感度	感测直径E	探头直径D	探头直径L	zui小范围
型号 ASP-1-PCR	µm 25.4	10	µm/V 2.54	mm 1.09	mm 2.36	mm 2.54	µm 1.270
ASP-2-PCR	50.8	10	5.08	1.55	2.84	2.54	2.540
ASP-5-PCR	127.0	10	12.70	2.49	3.96	2.54	6.350
ASP-10-PCR	254.0	10	25.40	3.53	5.54	2.54	12.700
ASP-20-PCR	508.0	4	50.80	4.98	7.92	2.54	25.400
ASP-50-PCR	1270.0	3	127.00	7.98	13.87	2.54	63.500
ASP-100-PCR	2540.0	2	254.00	11.25	25.40	2.54	127.000
ASP-200-PCR	5080.0	2	508.00	15.93	38.10	5.08	254.000

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