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数字式电容位移传感器

简要描述:

MTI 数字式电容位移传感器D-100 D-200 D-300 D-400数字式电容位移传感器性度高达满量程的 0.01%具有亚纳米级别的分辨率

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MTI 数字式电容位移传感器

 

D-100 D-200 D-300 D-400MTI 数字式电容位移传感器

线性度高达满量程的 0.01%

具有亚纳米级别的分辨率

可以选择标准的探头和定制的探头


 

MTI 数字式电容位移放大器

先进的功能

1、具有行业中zui高的分辨率,线性度高达 0.01%

2、不需要模数转化器

3、通过网线或者 USB 线缆自动连接

4、所有的通道同时测量可高达 20kHz 的采样速度

5、测量范围可调,一个探头,多个测量范围,可以通过软件,将数据保存为csv文件,可以通过软件进行灵活的滤波和平均控制。

具有数字化接口设计系列的放大器,它使用的技术将一个高度可靠的电容式电场测量(位移)直接转化为一个高度精确的位移数字信号。

电容位移传感器的应用

显微镜聚焦 „镜头的对准 „测量零件的外形 „测量零件的倾斜 „测量半导体硅片的厚度 „测量压电平台的位移 „测量振动 „测量电脑硬盘运行和厚度 „测量刹车盘的翘曲和厚度 „测量金属板的厚度 „测量光伏晶圆

MTI 标准探头的特点

● 电缆和探头使用的的温度范围: -130ºC  -- 200ºC (也有高温探头,在下一页有介绍)

● 连接头的使用温度范围: -65ºC -- 85ºC

● 精度: 高于满量程的±0.02% (当探头和放大器经过和被测物校准后)

● 标准放大器滤波带宽: 500Hz

● 可选滤波带宽 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel

● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 滤波带宽  Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程

● 探头和电缆互换性: ± 0.5%(在没有经过校准的情况下互换)

● 承受压力范围: 14MPa- (不适用于高温探头)

● 材料: 不锈钢结构,内部没有电子元器件

● 带线缆的探头,同轴电缆长度: 2.4m (可选延长线缆.)

 

型号       ASP-1-ILR

 

量程

2zui大扩展量程

 

感度

 

感测直径E

 

探头直径D

 

探头长度L

 

zui小范围

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

9.53

µm

1.270

ASP-2-ILR

50.8

10

5.08

1.55

2.84

9.53

2.540

ASP-5-ILR

127.0

10

12.70

2.49

3.96

9.53

6.350

ASP-10-ILR

254.0

10

25.40

3.53

5.54

9.53

12.700

ASP-20-ILR

508.0

4

50.80

5.00

7.92

9.53

25.400

ASP-50-ILR

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

9.53

63.500

ASP-100-ILR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

9.53

127.000

ASP-200-ILR

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

9.53

254.000

 

 

型号       ASP-25M-CTR

 

量程

2zui大扩展范围

 

感度

 

感测直径E

 

探头直径D

 

探头长度L

 

zui小范围

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

9.53

mm

25.40

µm

1.270

ASP-50M-CTR

50.8

10

5.08

1.55

9.53

25.40

2.540

ASP-125M-CTR

127.0

10

12.70

2.49

9.53

25.40

6.350

ASP-250M-CTR

254.0

10

25.40

3.53

9.53

25.40

12.700

ASP-500M-CTR

508.0

4

50.80

5.00

11.13

25.40

25.400

ASP-1250M-CTR

1270.0

3

127.00

7.98

15.88

25.40

63.500

ASP-2500M-CTR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

25.40

127.000

 

 

产品型号       ASP-1-ILA

 

量程

2zui大扩展范围

 

感度

 

感测直径E

 

探头直径D

 

探头长度L

 

zui小范围

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

9.53

µm

1.270

ASP-2-ILA

50.8

10

5.08

1.55

2.84

9.53

2.540<,/,SPAN>

ASP-5-ILA

127.0

10

12.70

2.49

3.96

9.53

6.350

ASP-10-ILA

254.0

10

25.40

3.53

5.54

9.53

12.700

ASP-20-ILA

508.0

4

50.80

5.00

7.92

9.53

25.400

ASP-50-ILA

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

9.53

63.500

ASP-100-ILA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

9.53

127.000

ASP-200-ILA

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

9.53

254.000

 

   

 

型号       ASP-0.5-CTA

 

量程

2zui大扩展范围

 

感度

 

感测直径E

 

探头直径D

 

探头长度L

 

zui小范围

µm

12.7

 

20

µm/V

1.27

mm

0.74

mm

6.35

mm

63.50

µm

0.635

ASP-25M-CTA

25.4

10

2.54

1.09

6.35

63.50

1.270

ASP-50M-CTA

50.8

10

5.08

1.55

6.35

63.50

2.540

ASP-125M-CTA

127.0

10

12.70

2.49

6.35

63.50

6.350

ASP-250M-CTA

254.0

10

25.40

3.53

6.35

63.50

12.700

ASP-500M-CTA

508.0

5

50.80

5.00

11.10

63.50

25.400

ASP-1250M-CTA

1270.0

3

127.00

7.98

15.88

63.50

63.500

ASP-2500M-CTA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

63.50

127.000

ASP-5000M-CTA

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

101.60

254.000

ASP-500-CTA

12700.0

1

1270.00

25.22

82.55

101.60

635.000

 

 

 

型号       ASP-1-PCA

 

量程

2zui大扩展范围

 

感度

 

感测直径E

 

探头直径D

 

探头长度L

 

zui小范围

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

2.54

µm

1.270

ASP-2-PCA

50.8

10

5.08

1.55

2.84

2.54

2.540

ASP-5-PCA

127.0

10

12.70

2.49

3.96

2.54

6.350

ASP-10-PCA

254.0

10

25.40

3.53

5.54

2.54

12.700

ASP-20-PCA

508.0

4

50.80

4.98

7.92

2.54

25.400

ASP-50-PCA

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

2.54

63.500

ASP-100-PCA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

2.54

127.000

 
 

 

型号       ASP-1-PCR

 

量程

2zui大扩展范围

 

感度

 

感测直径E

 

探头直径D

 

探头直径L

 

zui小范围

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

2.54

µm

1.270

ASP-2-PCR

50.8

10

5.08

1.55

2.84

2.54

2.540

ASP-5-PCR

127.0

10

12.70

2.49

3.96

2.54

6.350

ASP-10-PCR

254.0

10

25.40

3.53

5.54

2.54

12.700

ASP-20-PCR

508.0

4

50.80

4.98

7.92

2.54

25.400

ASP-50-PCR

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

2.54

63.500

ASP-100-PCR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

2.54

127.000

ASP-200-PCR

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

5.08

254.000

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